第72章 论文落定与新玩具

他深吸一口气,用那张新门禁卡刷开了大门。

“嘀——”

厚重的特种金属门缓缓滑开,灯光次第亮起,一个充满了硬核工业美学的空间,完整地呈现在他眼前!

与其说是实验室,不如说这是一个高端精密制造车间!

地面是厚重的防震水泥地基,上面铺设着高精度导轨。

靠近门口的区域,摆放着数台崭新的大型龙门铣床、五轴联动精密加工中心、立式加工中心,冰冷的金属外壳反射着顶灯的光芒,如同沉默的钢铁巨兽。

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往里是热处理区域,各种型号的热处理炉排列整齐。旁边是表面处理设备和一排排的工具柜、物料架。

在车间最内侧,被单独隔离开的恒温恒湿洁净区域内,大型三坐标测量机、激光干涉仪、球杆仪、以及巨大的高精度大理石平台……

而最让陈奕心跳加速的,是放置在洁净区核心位置的那台庞然大物。

一台崭新的、闪烁着金属与光学元件冷光的ASML NXT:1980Di 光刻机!

这是当前国内能通过特殊渠道获取到的最先进的浸没式深紫外光刻机之一!虽然还不是极紫外光刻机,但性能已经相当强悍。

陈奕走到这台价值连城的设备前,手指轻轻拂过冰冷的机身,眼中闪烁着兴奋的光芒。

凭借知识库中的技术,重新编写其核心控制程序,优化光源和光学系统,他有信心能将这台官方标定用于40nm及以上制程的设备,潜力压榨到极限。

冲击一下28nm 的工艺节点!这已经是这台DUV光刻机理论上能达到的极限了。

“EUV……”

陈奕喃喃自语,随即摇了摇头,

“那个东西,现在想弄也弄不来,就算弄来了,相关的配套技术、材料、光源也都是天大的难题。

算了,现在有这个,暂时够用了。EUV的事情,等以后有时间和条件再说吧。”

他的目光扫过整个车间,从巨大的加工中心到精密的检测仪器,再到这台代表着半导体工业明珠的光刻机,一股豪情油然而生。

这里,将是他将脑海中无数超前科技变为现实的起点!

从最基础的工业母机,到决定未来的芯片,这个崭新的实验室,将承载起他助力祖国崛起的梦想。

他轻轻握紧了手中的门禁卡,眼神坚定。