分析工作在这种“有限透明”的条件下推进。李明恺和林海编写算法,试图从海量日志中挖掘规律;小林则负责运行昭栄方面提供的一些专用分析工具,双方在约定的数据交换区分享中间结果。
几天后,李明恺发现了一个有趣的现象:在日志中某种特定模式的“传感器波动簇”出现后,大约有60%的概率,会在后续一批样品的观测数据中,检测到强度略高的周期性条纹。而根据小林的反馈,这种“传感器波动簇”往往与“涉及特定气体管理的维护操作”有关联。
“特定气体管理”——这个描述,与崔浩情报中提到的“含氯前驱体”工艺,在方向上隐隐吻合。
李明恺将这个发现记录在内部报告中,并加注:“关联性显着但非绝对,需更多数据验证。昭栄方面对具体维护内容讳莫如深,可能暗示此为敏感工艺环节。”
行业标准草案的反馈,比预想中来得更快,形式也更正式。
一份盖有昭栄材料株式会社总部技术标准部公章的公函,通过电子邮件发送给了草案牵头单位西南应用物理研究所,并抄送了参与草案讨论的所有单位,包括燧人科技。
公函措辞礼貌而专业,首先肯定了草案“在推动碳化硅产业规范化方面的积极意义”,随后提出了长达五页的“技术建议与疑问”。核心质疑点集中在燧人主导的“热场均匀性评价方法”上:
1. 测试条件过严:草案中要求的测试温度区间和稳定性指标,昭栄认为“超出了当前主流商用设备的普遍能力,可能将许多合格产品排除在外,不利于产业健康发展”。
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2. 方法可重复性存疑:对测试用模拟晶锭的规格、测温点的布置和数据处理算法,昭栄提出了详细的疑问,认为“细节描述不够充分,可能影响不同实验室间的测试结果可比性”。
3. 国际标准协调:委婉地建议草案起草方“充分参考和借鉴已有的国际半导体设备与材料协会(SEMI)相关标准框架”,以确保中国标准“与国际接轨”。
公函的落款处,除了昭栄的标准部,还有一位联合署名者——技术顾问,高桥健一。
“典型的国际巨头打法。”沈南星在内部会议上分析,“先礼后兵,用专业质疑来挑战方法的合理性和权威性,同时高举‘国际接轨’的大旗,潜台词是我们的标准‘不够国际化’或‘过于特立独行’。”
张明远则更关注技术内容:“他们的质疑点抓得很准。我们的方法确实对设备要求高,细节上也还有完善空间。但之所以这么定,恰恰是因为‘琉璃’项目对材料一致性有极端要求,我们必须从一开始就把标杆立高。这是应用倒逼的标准。”
“他们想把标准拉低到他们舒适,或者说,他们能轻易主导的范围内。”陆晨总结,“西南所那边什么态度?”
“陈主任刚来过电话。”沈南星说,“他们认为昭栄的反馈在意料之中,也是标准制定过程的正常环节。西南所会组织起草组内部会议,逐条研究并准备回应。陈主任强调,关键是要把我们方法背后的‘国家重大需求背景’和‘高可靠性导向’向其他参与单位解释清楚,争取更多支持。”
标准之争的第一回合,在看似平和的公文往来中拉开了序幕。这不再仅仅是技术优劣之争,更是产业话语权和未来技术路线的争夺。