第8章 第一次流片尝试与惨烈的失败

开局手搓光刻机 胃子 1183 字 7个月前

D区实验室,此刻已经面目全非。

原本整洁的空间,如今被各种改造中的设备和密密麻麻的线缆占据。

空气中弥漫着焊锡、机油、还有一丝若有若无的化学试剂气味。中心区域,一个由多种“破烂”设备拼凑、连接起来的、看起来极其怪异且不稳定的“综合处理平台”已经初步成型。

这就是“女娲计划”的雏形——一条充满了“手工”痕迹的芯片试验线。

“真空度达到要求!”

“激光校准完成!”

“反应气体浓度稳定!”

“生物溶液活性正常!”

一个个指令和汇报声在实验室内响起,气氛紧张到了极点。

今天,是“女娲计划”的第一次小型化流片尝试,目标是在一片2英寸的报废实验晶圆上,尝试“打印”出最简单的晶体管结构。

陆星辰站在主控台前,脸上没有了往日的嬉笑,眼神专注而锐利。

赵刚、李默、老周等人各就各位,紧紧盯着自己面前的仪表和数据屏幕。

林晓则拿着记录本,手心全是汗。

“启动自组装程序。”陆星辰下令。

李默按下按钮,特定的生物酶溶液被精确注入覆盖着特殊纳米材料的晶圆表面。

在显微镜下,可以观察到溶液中的分子开始按照预设的程序,缓慢而有序地进行着自我组装。

“自组装完成度85%…90%…很好!”李默的声音带着一丝兴奋。

“切换到物理气相沉积,进行电极材料填充!”陆星辰继续下令。

老周操控着那台改造的电子束蒸发设备,小心翼翼地将金属材料蒸发到晶圆表面。

一切似乎都在按照计划进行。

然而,就在进行到最关键的光刻图形化环节时,意外发生了!

那台由高精度位移台和二手激光器拼凑起来的“丐版光刻机”,因为长时间超负荷运行,一个负责精密定位的伺服电机突然过热报警,随即,位移台产生了微小的、但足以致命的偏移!

“不好!定位偏移!”赵刚盯着监控屏幕,脸色大变。

几乎同时,负责化学机械抛光的老式研磨机也因为压力传感器失灵,施加的压力瞬间超标!

“咔嚓……”