如果用它来做层间垂直互联,电阻和延迟几乎可以忽略不计!”
任平生的支持,不仅仅是资源,更像是一把钥匙,为他们打开了一扇通往更广阔技术天地的门。
许多之前困扰他们的、关于三维芯片的底层物理和材料难题,似乎一下子看到了解决的曙光。
然而,就在众人摩拳擦掌,准备利用这些“宝藏”大干一场时,一个新的、更加棘手的问题,毫无征兆地浮出了水面。
问题出在“量产攻坚组”这边。
为了尽快提升二维“凌霄”芯片的良品率,赵刚和老周决定尝试将任总图纸上的“多层异质结外延生长”思路,进行简化后应用到二维芯片的某个关键晶体管制造环节上。
理论模拟非常完美,预计能大幅提升电子迁移率。
但第一次实际流片尝试,结果却是一场灾难。
当那片经过新工艺处理的晶圆从反应腔中取出时,所有人都傻眼了——晶圆表面布满了诡异的、如同雪花般的六边形裂纹,所有电路结构全部损毁!
“怎么会这样?!”
赵刚看着电子显微镜下的图像,脸色惨白,“模拟数据明明显示应力在安全范围内!”
老周急得满头大汗,反复检查设备参数和操作记录:
“温度、压力、气体流量……都没问题啊!到底是哪里出了岔子?”
李默闻讯赶来,看着那雪花状的裂纹,眉头紧锁:
“这不像是一般的工艺应力导致的裂纹……倒像是……晶格失配达到了某个临界点,引发了自组织的拓扑相变断裂?”
这个过于学术的名词让赵刚和老周更加茫然。
陆星辰被请了过来。
他盯着那奇特的裂纹图案,手指在下巴上摩挲着,眼神专注。
半晌,他忽然问道:“老周,你们用的衬底晶圆,是标准规格的吗?”